NC-1010 2.5D
搭配高階量測軟體 ，並使用超高速光學尺解碼器、完整的幾何量測功能以及人性化介面，提供更為完善的工具顯微鏡。適用於半導體，LCD等各種精密加工製造及需精密量測產業。
應用範圍：適用於半導體，LCD等各種精密加工製造及需精密量測產業。
量測行程：100mm*100mm*100mm, 200mm*200mm*150mm, 300mm*200mm*150mm
量測精度：:3um
光 學 尺：EASSON X, Y, Z三軸, 解析度 1um ，精度 (3+5L0/200)um
取像系統：日製SENTECH 1/3”Color CCD
變焦鏡頭：0.7~5.0X (28X~200X), 六段定格變焦鏡頭
光源系統：150W 可調式環形光纖光源及20W背光輪廓光源(可選配LED光源）
通訊功能：內建ShengTek SCU-ABD Real Time 四軸 解碼單元，RS232 通訊。
驅動系統：Z軸為二相微步進驅動器，解析度可達50,000counts/Rev，系統內建10組快速移動速率，精密電子手輪微調，解析度<1um，適合高倍率系統。
操作方式：X/Y軸搭配德製無牙螺桿可快速移動及精密微調。
高度量測：雷射高度深度量測系統
外型尺寸：460mm*520mm*550mm (標準型)
量測軟體：HQ Advance 2007專用影像量測軟體