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NC-1510 金相顯微鏡量測系統,並有多種尺寸可供選擇!
適用於半導體,LCD等各種精密加工製造及需精密量測產業
量測行程:150mm*100mm*100mm
量測精度:1um
光 學 尺 :EASSON X, Y, Z三軸, 解析度 1um ,精度 (3+5L0/200)um
取像系統: SENTECH Color CCD
鏡 頭 :五段鼻輪式金相顯微鏡M Plan Apo L 2X, 5X, 10X, 20X, 50X長工作距離 (100X選配)
光源系統:6V/20W同軸鹵素光源及20W背光輪廓光源
通訊功能:內建ShengTek SCU-ABD Real Time 四軸 解碼單元, RS232 通訊。
驅動系統:Z軸為二相微步進驅動器,解析度可達50,000counts/Rev,系統內建10組快速移動速率, 精密 電子手輪微調,解析度<1um,適合高倍率系統。
操作方式:X/Y軸搭配德製無牙螺桿可快速移動及精密微調。
外型尺寸:540mm*530mm*550mm (標準型)
量測軟體:HQ Advance 2007專用影像量測軟體